温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种光电探测器及其制作方法，该方法包括如下步骤：在衬底上依次生长远场缩减层、间隔层、波导层、吸收层及接触层；刻蚀吸收层及接触层形成探测器波导；刻蚀波导层形成自探测器波导端到光耦合端宽度逐渐减小的楔形波导；刻蚀间隔层及远场缩减层形成下波导，探...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。