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本发明是关于一种聚焦离子束(FIB)，其用于在各种离子束柱设置下将束斑铣削到基底中，以形成用于训练卷积神经网络的一组训练图像。在所述神经网络被训练之后，可以通过获取用所述神经网络处理的光斑图像来调整离子束。所述神经网络可以提供散焦的量级和方...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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