下载电阻整合式气体传感器的技术资料

文档序号:24705337

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本发明提供了一种电阻整合式气体传感器,包括基板、第一金属氧化物层,绝缘层,接触金属层,接触空穴,第二金属氧化物层以及指叉状电极层。第一金属氧化物层配置于基板中。绝缘层配置于基板及第一金属氧化物层上。接触金属层及接触空穴配置于绝缘层中。第二金...
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