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本发明公开了一种物体表面检测装置及检测方法，其中，检测装置包括光源单元，用于产生照射待检测物体的光；工作台单元，用于承载待检测物体；探测单元，用于接收待检测物体表面的异物产生的散射光；所述工作台单元相对所述探测单元在平动面内沿第一方向运动；...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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