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本发明提供一种真空阀门及阀门控制装置，能够实现微调性能的提高。真空阀门(4)是对阀体(40)以相对于阀门开口(410)进行升降驱动，而进行阀门开闭动作的真空阀门，所述阀体(40)是与阀门开口(410)相向配置，所述真空阀门(4)包括：粗调驱...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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