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本发明涉及一种卧式氮化镓生长炉,属于晶体新材料生产技术领域。所述氮化镓生长炉包括卧式炉体、进气系统、生长杆和生长杆固定装置,所述炉体外侧设有分级加热系统,所述卧式炉体的两端分别设有第一连接法兰和第二连接法兰,所述进气系统和生长杆固定装置分别...该专利属于山东科恒晶体材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东科恒晶体材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种卧式氮化镓生长炉,属于晶体新材料生产技术领域。所述氮化镓生长炉包括卧式炉体、进气系统、生长杆和生长杆固定装置,所述炉体外侧设有分级加热系统,所述卧式炉体的两端分别设有第一连接法兰和第二连接法兰,所述进气系统和生长杆固定装置分别...