下载以液态金属为基底的研磨盘装置的技术资料

文档序号:24696599

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本发明公开了一种以液态金属为基底的研磨盘,包括竖直驱动装置、水平驱动装置、旋转云台、机械抓手、摄像头、抓手气缸、研磨装置和出料装置,所述竖直驱动装置固定在地面上,水平驱动装置安装在竖直驱动装置所驱动的竖直滑块上,所述旋转云台安装在所述水平驱...
该专利属于浙江工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江工业大学授权不得商用。

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