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本发明公开了自修式液态金属研磨盘及其制备方法，包括旋转驱动底座、研磨盘、直线进给装置、储液槽、抽液泵、抽液管道、喷液管道和喷液喷头，所述研磨盘安装在旋转驱动底座上方，直线进给装置设置在研磨盘的一侧，所述喷液喷头设置在研磨盘的上方，直线进给装...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

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