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本发明公开了一种LPCVD石英舟的清理方法，通过将待清理LPCVD石英舟置入高温炉中；在预设温度下向所述高温炉中通入氯气，使所述LPCVD表面的多晶硅层与所述氯气进行反应；排出废气，得到去除所述多晶硅层的LPCVD石英舟。本发明利用氯气在高...
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