下载半导体检测装置的技术资料

文档序号:24696072

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本发明提供一种半导体检测装置,属于半导体检测技术领域,其包括框架和设置在框架上的控制机构、送料机构、取料机构、置料机构、检测机构、下料机构。本发明的半导体检测装置,控制机构整体控制各个机构的动作,使得各个机构配合实现对半导体检测的自动化;送...
该专利属于苏州埃尔森自动化设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州埃尔森自动化设备有限公司授权不得商用。

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