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本公开提供了一种用于从至少一个具有排气口的晶圆烘烤装置排放废气的排气模块。排气模块包括至少一个管道、加热单元、溶剂分配单元和过滤单元。至少一个管道连接至晶圆烘烤装置的排气口，并且配置成从晶圆烘烤装置排放废气。加热单元连接至管道，并且配置成加...
该专利属于夏泰鑫半导体(青岛)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过夏泰鑫半导体(青岛)有限公司授权不得商用。

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