下载存储器阵列和形成存储器阵列的方法的技术资料

文档序号:24694105

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一些实施例包括一种形成组件(例如,存储器阵列)的方法。通过交替的第一级和第二级的堆叠形成第一开口。第一级包含氮化硅,而第二级包含二氧化硅。用存储器单元结构代替第二级的一些二氧化硅。存储器单元结构包括与电荷阻挡区域相邻的电荷存储区域。在第一开...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。