下载用于微电子器件的具有保护层的管芯贴合表面铜层的技术资料

文档序号:24694101

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通过以下方法形成微电子器件(400):从衬底(404)的管芯贴合表面(406)使微电子器件(400)的衬底(404)薄化;以及在衬底(404)的管芯贴合表面(406)上形成含铜层(420)。在含铜层(420)上形成保护金属层(468)。随后...
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