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本发明描述了用于将材料沉积到高深宽比特征，多层堆叠件中的特征，具有正倾斜的侧壁的特征，具有负倾斜的侧壁的特征，具有内凹轮廓的特征和/或具有侧壁形貌的特征的方法和设备。方法包括将第一数量的材料(例如电介质(例如硅氧化物))沉积到特征中，并在衬...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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