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向在表面露出有硅氧化膜和硅氮化膜的衬底供给含有硅的磷酸水溶液、选择性地将硅氮化膜蚀刻的衬底处理方法。该方法包括下述工序：将含有规定硅浓度范围的硅的磷酸水溶液贮存于罐的工序；将罐内的磷酸水溶液供给至喷嘴，并从喷嘴向衬底供给磷酸水溶液而对衬底进...
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