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本发明涉及毫米波二阶分形天线、制备方法及在三维集成结构的运用,包括衬底,所述衬底的底部溅射有第一种子层,所述衬底的顶部涂覆并固化设置有BCB介质层,所述BCB介质层溅射有第二种子层,所述BCB介质层的顶部通过第二种子层与导电层相连,所述导电...该专利属于中国电子科技集团公司第三十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第三十八研究所授权不得商用。
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本发明涉及毫米波二阶分形天线、制备方法及在三维集成结构的运用,包括衬底,所述衬底的底部溅射有第一种子层,所述衬底的顶部涂覆并固化设置有BCB介质层,所述BCB介质层溅射有第二种子层,所述BCB介质层的顶部通过第二种子层与导电层相连,所述导电...