下载半导体结构及其制作方法的技术资料

文档序号:24690992

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本发明公开一种半导体结构及其制作方法,其中该半导体结构包含一基底、多个相互平行的鳍部从该基底凸出且由沟槽所分隔、以及一元件隔离层位于两个该鳍部之间的该沟槽之上,其中该沟槽具有位于中央的第一沟槽以及位于该第一沟槽两侧的两个第二沟槽,该第一沟槽...
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