下载一种感测装置及其封装方法的技术资料

文档序号:24690903

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本发明提供了一种感测装置及其封装方法,该方法包括以下步骤:从光电二极管芯片的第一表面对所述光电二极管芯片进行减薄处理,接着形成叠层减反射结构,接着形成第一掩膜层,在所述第一掩膜层中形成开口以暴露所述叠层减反射结构,接着在所述开口中形成金属栅...
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