下载一种防止刮蹭台面的钝化结构及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:24690781

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本发明公开了半导体玻璃钝化工艺领域内的一种防止刮蹭台面的钝化结构及其制备方法和应用。本钝化结构包括:Si外延衬底,Si外延衬底上表面中部设置有台柱;垫高层,设置于Si外延衬底上表面周缘,所述垫高层上表面高于台柱的上表面。本钝化结构Si外延衬...
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