下载晶体管外延层制作方法的技术资料

文档序号:24690613

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本发明公开了晶体管外延层制作方法,晶体管外延层制作方法包括至少以下过程:对晶体基板进行一次或多次离子植入处理,使得离子掺杂深度达到第一预定深度;对离子植入处理后的晶体基板进行高温化扩散处理,使得离子掺杂深度达到第二预定深度并稳定,以此得到离...
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