下载晶圆翻转定位装置的技术资料

文档序号:24682321

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本实用新型公开了一种晶圆翻转定位装置,包括底板、翻转结构及两定位结构,翻转结构及两定位结构固定安装于底板,翻转结构包括升降结构、旋转结构及吸附结构,吸附结构包括吸板,旋转结构滑动安装于升降结构,吸板转动安装于旋转结构,每一定位结构包括保护夹...
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