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本发明公开用于半导体层的缺陷检测方法和系统。根据一实施例的缺陷检测方法包括提供半导体层，针对半导体层采集第一激发波长对应的第一光致发光强度值I1，针对半导体层采集第二激发波长对应的第二光致发光强度值I2，构建关于I1和I2的函数F，确定函数...
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