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本发明公开了一种钼铝钼和ITO/Ag/ITO兼容蚀刻液及制备方法,所述蚀刻液的原料按重量百分比计算,包括无机酸磷酸55‑75%、硝酸2.5‑5%、醋酸12‑28%,表面活性剂1‑8%,复配型金属抑制剂0.1‑5%,保护剂0.1‑5%和余量的...该专利属于江阴润玛电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴润玛电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种钼铝钼和ITO/Ag/ITO兼容蚀刻液及制备方法,所述蚀刻液的原料按重量百分比计算,包括无机酸磷酸55‑75%、硝酸2.5‑5%、醋酸12‑28%,表面活性剂1‑8%,复配型金属抑制剂0.1‑5%,保护剂0.1‑5%和余量的...