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本实用新型公开了一种用于罩式退火炉内罩清洗的装置，该装置包括喷头组件、旋转组件、内罩支架台、供液泵、药剂溶液箱及废液收集池，其中，喷头组件包括喷嘴、出液管、固定板、进液管、进液管套筒；旋转组件包括外丝管、内丝管、导管及供液管。与现有技术相比...
该专利属于袁丽所有，仅供学习研究参考，未经过袁丽授权不得商用。

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