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本发明公开了一种基板传送机构,包括平移装置,包括第一端和第二端;第一升降装置,设置于平移装置下方,且与平移装置第一端相对设置;第二升降装置,设置于平移装置下方,且与平移装置第二端相对设置;以及载台,可拆卸式安装至平移装置顶部、第一升降装置顶...该专利属于TCL华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过TCL华星光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种基板传送机构,包括平移装置,包括第一端和第二端;第一升降装置,设置于平移装置下方,且与平移装置第一端相对设置;第二升降装置,设置于平移装置下方,且与平移装置第二端相对设置;以及载台,可拆卸式安装至平移装置顶部、第一升降装置顶...