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一种转移装置，用于在半导体制造过程中将半导体晶片转移到蚀刻和其他制造过程中的装置中，并保持真空环境的清洁度。该转移装置包括存储晶片的转移室，从转移室抽取颗粒的真空系统以及用于温度控制的热电装置。真空系统包括抽气管，热电装置包括用于冷却转移室...
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