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本发明涉及基板载置方法、成膜方法、成膜装置以及有机EL面板的制造系统。高精度地进行基板与掩模的对准。使由夹持单元(28a、28b)支承的基板处于掩模的上方而使基板从水平的第一姿势转移到夹持单元(28b)侧高的第二姿势。在保持基板的第二姿势的...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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