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本申请公开一种大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法。大口径光学元件清洗装置，包括夹持机构、翻转架、翻转驱动部和竖向旋转部。夹持机构用于夹持光学元件，夹持机构可转动地设于翻转架上，翻转驱动部设于翻转架且驱动夹持机构转动，以使得光学...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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