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本发明提供一种粉末收集系统，包括处理室、第一粉末捕集装置和真空泵，所述第一粉末捕集装置与所述处理室连通；所述真空泵与所述第一粉末捕集装置连通；所述第一粉末捕集装置包括内腔和多个隔板，所述多个隔板垂直交错设置在所述内腔内，用于将所述内腔分割成...
该专利属于夏泰鑫半导体(青岛)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过夏泰鑫半导体(青岛)有限公司授权不得商用。

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