下载一种设置有炉体升降机构的晶体生长炉的技术资料

文档序号:24651820

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本实用新型涉及半导体材料制备装置技术领域,更具体而言,涉及一种设置有炉体升降机构的晶体生长炉,包括晶体生长装置与炉体升降装置,在晶体生长装置中通过自上而下的多组加热器实现对炉芯及坩埚炉、石英管的热辐射加热,多组加热器独立运作,实现不同部位不...
该专利属于山西中科晶电信息材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山西中科晶电信息材料有限公司授权不得商用。

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