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真空镀膜装置制造方法及图纸
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下载真空镀膜装置的技术资料
文档序号:24651524
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本实用新型公开了真空镀膜装置,包括真空镀膜室、固定台,真空镀膜室由腔室隔板分隔为多个镀膜空间,真空镀膜室中部固定有固定架,固定架通过转动轴与电机传动连接;固定台设置在真空镀膜室底部,固定台顶部开设环形凹槽,环形凹槽内嵌入镀膜台,镀膜台上放置...
该专利属于昆山英利悦电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山英利悦电子有限公司授权不得商用。
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