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本实用新型提供了一种高纯砷升华装置，所述升华装置包括冷却系统、加热系统、升华炉、沉积系统、抽真空系统；所述升华炉包括炉体、冷凝内胆和熔料室，所述熔料室设置在所述炉体底部，所述熔料室开口朝上，所述冷凝内胆开口朝下，所述冷凝内胆下端开口处与所述...
该专利属于广东长信精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东长信精密设备有限公司授权不得商用。

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