下载多晶硅还原炉的技术资料

文档序号:24648974

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本实用新型公开了一种多晶硅还原炉,多晶硅还原炉包括:底盘,底盘上设有进气管和出气管;高阻值硅芯,设在底盘上;还原炉筒体,适于罩设在底盘上,还原炉筒体内限定有空腔;气体加热器,气体加热器上形成有气体进口和气体出口;物料系统换热器,物料系统换热...
该专利属于洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。

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