下载半导体光罩盒储存设备的技术资料

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一种半导体光罩盒储存设备,包含底座、升降构件、马达及上下位移平台。底座具有固定座及承载构件,该固定座锁固于该承载构件上;该升降构件藉由两固定件与底座相连接,升降构件具有连接块、滑轨及滑块,该连接块的二相反面对应设有凹槽,该凹槽用以固定该滑轨...
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