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介质处理装置制造方法及图纸
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下载介质处理装置的技术资料
文档序号:24643705
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本实用新型提供介质处理装置。介质处理装置具备支承台;对载置于支承台的载置面的介质进行规定的处理的处理部;支承处理部的支承部;具有与支承部接触的接触面且从垂直下方侧承受支承部的凸轮;以及控制部。凸轮的接触面包括第一平面、第二平面及第三平面。载...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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