下载一种高性能DFB激光器外延结构的技术资料

文档序号:24641951

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本实用新型提供一种高性能DFB激光器外延结构,InP衬底上从下至上依次沉积有N‑InP缓冲层,N‑AlInAs限制层、非掺杂AlGaInAs下波导层、非掺杂AlGaInAs量子阱、非掺杂AlGaInAs上波导层、非掺杂P型掺杂的AlInAs...
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