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阶梯型字线结构制造技术
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文档序号:24640536
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本实用新型提供一种阶梯型字线结构,其包括导电层,所述导电层的顶端呈中间高两边低的阶梯型构型。本实用新型阶梯型字线结构在降低字线结构的电阻的同时还能够避免产生GIDL效应。...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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