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一种全自动ITO蚀刻机制造技术
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下载一种全自动ITO蚀刻机的技术资料
文档序号:24636850
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本申请提供了一种全自动ITO蚀刻机,包括:立柱,固定于所述立柱上的Z轴升降组件;所述Z轴升降组件上方固定有激光器座,并与工作平台固定连接;所述激光器座中设有两个激光器;所述立柱还固定连接支撑平台,所述支撑平台设有XY轴工作滑台;所述XY轴工...
该专利属于鞍山盛雄激光设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鞍山盛雄激光设备有限公司授权不得商用。
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