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本实用新型涉及半导体加工设备领域,尤其是一种封装片料的自动成型分切机,包括控制器、成型分切装置、送料装置、上料仓、上料装置以及真空检测装置;真空检测装置包括气压传感器、第一真空吸盘、第二真空吸盘以及真空泵,气压传感器用于检测真空泵的输出气压...该专利属于广东协铖微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东协铖微电子科技有限公司授权不得商用。
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