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本实用新型提供了一种防微振平台，包括沿竖直方向层叠的工艺层及回风层，工艺层位于回风层的上方。防微振平台还包括环绕设置在工艺层上的第一围护墙、以及环绕设置在回风层上的第二围护墙。防微振平台还包括设置在第一围护墙顶部且与工艺层相对的过滤器。该防...
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