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中国科学院微电子研究所
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包括电容器的半导体装置及其制造方法及电子设备制造方法及图纸
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下载包括电容器的半导体装置及其制造方法及电子设备的技术资料
文档序号:24615266
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公开了一种包括电容器的半导体装置及其制造方法及包括这种半导体装置的电子设备。根据实施例,半导体装置可以包括:竖直半导体器件,包括在衬底上竖直延伸的有源区;以及电容器,包括依次叠置的第一电容器电极、电容器电介质层和第二电容器电极。第一电容器电...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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