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本发明提供一种用于基片支撑的加热装置以及等离子体处理器，将各电加热单元分别与各可控加热开关单元串联形成多个电加热支路，通过不同的开关控制单元控制每个可控加热开关单元的开启状态，从而，实现各电加热支路的分别控制，从而，通过分别控制不同分区中的...
该专利属于中微半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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