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本发明提出一种气密性探测装置，用于探测半导体设备的狭缝阀的气密性，狭缝阀隔离半导体设备的两个腔室，狭缝阀根据半导体设备的加工流程选择性地开闭，气密性探测装置包括至少一个光学气体成像件，至少一个光学气体成像件位于腔室之外，至少一个光学气体成像...
该专利属于夏泰鑫半导体(青岛)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过夏泰鑫半导体(青岛)有限公司授权不得商用。

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