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本发明涉及蒸镀装置、电子器件的制造装置以及蒸镀方法。在直列式的蒸镀装置中在清洁的环境下输送基板。蒸镀装置具备：输送机构，其包括保持并输送基板的输送载体以及构成供输送载体移动的输送路径的输送模块；对准室，向对准室送入被输送载体保持的基板，将掩...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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