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可冷凝金属卤化物材料例如但不限于六氯化钨和五氯化钨可以用于在化学气相沉积(CVD)或原子层沉积工艺中沉积金属膜或含金属膜。本文描述的是用于纯化六氯化钨和五氯化钨原料的高纯度六氯化钨和五氯化钨系统和方法。提供了纯化的六氯化钨和五氯化钨，其含有...
该专利属于弗萨姆材料美国有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过弗萨姆材料美国有限责任公司授权不得商用。

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