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具有通过电磁致动控制的可倾斜悬置结构的MEMS设备制造技术
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下载具有通过电磁致动控制的可倾斜悬置结构的MEMS设备的技术资料
文档序号:24608888
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MEMS设备通过以下方式获得:在半导体本体上形成临时偏置结构;以及在半导体本体上形成致动线圈,致动线圈至少具有一个第一端匝、一个第二端匝、以及中间匝,中间匝被布置在第一端匝和第二端匝之间,并且通过临时偏置结构被电耦合至第一端匝。以此方式,在...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。
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