下载玻璃基板的保持用膜体和玻璃基板的研磨方法的技术资料

文档序号:24607715

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本发明涉及玻璃基板的保持用膜体和玻璃基板的研磨方法。本发明提供一种玻璃基板的保持用膜体,该玻璃基板的保持用膜体的寿命长并且能够得到平坦度高的玻璃基板。一种玻璃基板的保持用膜体,其具备第一构件和第二构件,所述第一构件具有:在第一表面上吸附并保...
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