玻璃基板的保持用膜体和玻璃基板的研磨方法技术

本发明专利技术涉及玻璃基板的保持用膜体和玻璃基板的研磨方法。本发明专利技术提供一种玻璃基板的保持用膜体，该玻璃基板的保持用膜体的寿命长并且能够得到平坦度高的玻璃基板。一种玻璃基板的保持用膜体，其具备第一构件和第二构件，所述第一构件具有：在第一表面上吸附并保持玻璃基板的第一自吸附型片、设置在第一自吸附型片的第二表面上的第一粘合层、第一片状基材和第二粘合层；所述第二构件具有：在第一表面上吸附并保持玻璃基板的第二自吸附型片、设置在第二自吸附型片的第二表面上的第三粘合层、第二片状基材和第四粘合层；并且第一自吸附型片的第一表面与第二自吸附型片的第一表面连接。

Grinding method of film and glass substrate for maintaining glass substrate

【技术实现步骤摘要】
玻璃基板的保持用膜体和玻璃基板的研磨方法
本专利技术涉及玻璃基板的保持用膜体和玻璃基板的研磨方法。
技术介绍
对于应用于液晶显示器用途的玻璃基板而言，当表面的平滑度低时，所显示的图像会产生畸变，因此，在玻璃基板的制造工序中，需要利用研磨装置除去表面的微小的凹凸或起伏。作为这样的研磨装置，已知如下研磨装置：将保持在研磨头上的玻璃基板按压在粘贴于研磨平台的研磨垫上，并且通过使研磨平台和研磨头相对旋转而对玻璃基板进行研磨。在这样的研磨装置中，通过使玻璃基板吸附并保持在安装于研磨头上的自吸附型保持用膜体上，从而将玻璃基板安装于研磨头上(参见专利文献1)。该保持用膜体由用于吸附并保持玻璃基板的自吸附型片和双面胶粘片构成。作为自吸附型片，例如使用专利文献2中记载的聚氨酯片等多孔片。当使多孔的自吸附型片的表面包含水等液体并使该表面与玻璃基板紧贴时，利用进入到表面的孔中的液体的表面张力，将玻璃基板吸附在自吸附型片上。将保持用膜体的双面胶粘片的与自吸附型片相反侧的表面粘贴到背板上，并与背板一起安装到研磨头上。为了使玻璃基板的表面平本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃基板的保持用膜体，其具备第一构件和第二构件，/n所述第一构件具有：/n第一自吸附型片，所述第一自吸附型片具有第一表面和所述第一表面的相反侧的第二表面，并且在所述第一表面上吸附并保持玻璃基板；/n第一粘合层，所述第一粘合层设置在所述第一自吸附型片的第二表面上；/n第一片状基材，所述第一片状基材设置在所述第一粘合层的与所述第一自吸附型片相反侧的表面上；和/n第二粘合层，所述第二粘合层设置在所述第一片状基材的与所述第一粘合层相反侧的表面上；/n所述第二构件具有：/n第二自吸附型片，所述第二自吸附型片具有第一表面和所述第一表面的相反侧的第二表面，并且在所述第一表面上吸附并保持玻璃基板；/n...

【技术特征摘要】
20181217 JP 2018-235702;20190903 JP 2019-1605191.一种玻璃基板的保持用膜体，其具备第一构件和第二构件，
所述第一构件具有：
第一自吸附型片，所述第一自吸附型片具有第一表面和所述第一表面的相反侧的第二表面，并且在所述第一表面上吸附并保持玻璃基板；
第一粘合层，所述第一粘合层设置在所述第一自吸附型片的第二表面上；
第一片状基材，所述第一片状基材设置在所述第一粘合层的与所述第一自吸附型片相反侧的表面上；和
第二粘合层，所述第二粘合层设置在所述第一片状基材的与所述第一粘合层相反侧的表面上；
所述第二构件具有：
第二自吸附型片，所述第二自吸附型片具有第一表面和所述第一表面的相反侧的第二表面，并且在所述第一表面上吸附并保持玻璃基板；
第三粘合层，所述第三粘合层设置在所述第二自吸附型片的第二表面上；
第二片状基材，所述第二片状基材设置在所述第三粘合层的与所述第二自吸附型片相反侧的表面上；和
第四粘合层，所述第四粘合层设置在所述第二片状基材的与所述第三粘合层相反侧的表面上；并且
所述第一自吸附型片的第一表面与所述第二自吸附型片的第一表面连接。


2...

【专利技术属性】
技术研发人员：柿崎干，阿部重人，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP