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本发明揭示了一种MOCVD尾管免拆清理装置，包括前端清理组件及尾端连接组件两部分，前端清洁组件包括一根前端线缆，前端线缆的一侧端部固定设置有清扫器件、前端线缆的另一端与尾端线缆的端部相连接，前端清洁组件还包括固定设置于前端线缆外周侧、用于使...
该专利属于木昇半导体科技(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过木昇半导体科技(苏州)有限公司授权不得商用。

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