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本发明公开了一种真空等离子处理设备及其处理腔体，包括气缸、上腔体和下腔体，所述上腔体内设有第一空腔，第一空腔的内侧壁上设有镜面不锈钢护罩，所述下腔体内设有第二空腔，所述第二空腔内设有电极，所述电极电极的上方及侧面设有绝缘片，电极的下端设置绝...
该专利属于昆山索坤莱机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山索坤莱机电科技有限公司授权不得商用。

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